超短脈沖激光微加工指的是利用脈沖寬度在皮秒致飛秒量級(jí)的脈沖激光對(duì)材料的顯微加工、精密裁切或微觀改性。從材料性能變化來說，可分為表面形貌。折射率、離子價(jià)態(tài)、相態(tài)、缺陷態(tài)、晶態(tài)、化學(xué)鍵以及能帶結(jié)構(gòu)等的修飾與調(diào)控。

 

超短脈沖應(yīng)用加工領(lǐng)域有：印刷電路、LED、醫(yī)療器械、太陽(yáng)能電池、液晶顯示基板、微光機(jī)電系統(tǒng)等 

1、加工尺寸更小；

2、可實(shí)現(xiàn)高精度的非熱熔型加工；

3、能克服等離子體屏蔽作用和摻雜、缺陷對(duì)激光吸收影響；

4、加工過程只與被加工材料院子特征有關(guān)，不受特性影響

相對(duì)于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興市場(chǎng)。未來十年內(nèi)超短脈沖激光技術(shù)在全球?qū)?huì)有250億美元的市場(chǎng)，平均每年有超25億元的市場(chǎng)。隨著超短脈沖激光器件趨向更加成熟的工業(yè)應(yīng)用，超短脈沖激光微納加工技術(shù)將開拓更為廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，成為諸多行業(yè)不可或缺的利器，為科技造福社會(huì)創(chuàng)造更為美好的明天。